MOCVD在线监测系统系列产品用于实时监测工艺过程中晶圆的温度，反射率和翘曲度，并提供可靠的温度信号用于控温，适用于各种转速的MOCVD机台。包括温度反射率翘曲度在线监测（viperRTC）、表面温度测量（viper405）、温度校准单元（Calibration Unit）、温场扫描系统（Scanpyro）等产品
405nm近紫外测温系统，用于MOCVD工艺薄膜表面温度的测量
Scanpyro-RT MOCVD在线扫描系统，用于具有狭缝型观察窗的MOCVD设备，实现对整个盘面的温度和反射率扫描，获得实时的，整个温度场的数据。
viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在线监测系统，用于慢转速，多片行星式MOCVD设备，实现对工艺反射率（R），温度（T）和翘曲度（C）的实时监测。测温信号，可用于闭环温度控制。
Cal-2 可以用于MOCVD设备不开腔温度校准。
