样片类型：SiC衬底、SiC外延片
样片尺寸：4"、6"、8"
E3500型号
样片类型：GaN衬底、Si/PSS/Sapphire/SiC基GaN外延片
样片尺寸：4"、6"、8"
E3200型号
样片类型：Sapphire、GaAs、钽酸锂、石英玻璃、InP等
（衬底及外延片的缺陷检测）
样片尺寸：4"、6"、8"
E1000型号
样片类型：Sapphire、GaAs、SiC、GaN等切片、研磨片和抛光片
样片尺寸：4"
SPI300型号
、6"
、8"
型：Sapphire，Si，GaAs，InP等
（衬底缺陷检测）
样片尺寸：4"、6"
E300型号
样片类
、8"
样片类型：PR片、PSS片和蓝宝石抛光片
样片尺寸：4"
PSS型号
、6"
、8"
样片类型：GaN外延片
EPI-GN型号
样片尺寸：
2"、
、6"
4"
样片类型：GaAs外延片
样片尺寸：4"、6"
EPI-GA型号
样片类型：GaN、GaAs、InP衬底的芯片
样片尺寸：4"三道光、6"三道光
COW型号
样片类型：GaN、GaAs、InP衬底的芯片
样片尺寸：4"扩5.6"三道光
COT型号
样片类型：GaN、GaAs、InP衬底的COT双面缺陷检测
样片尺寸：4"三道光
COTD型号
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