12寸晶圆形貌检测设备正式推出并发货,集成电路领域市场正式开启
2025.11.10

 

      2024年3月,历经一年多的研发创新,昂坤视觉集成电路领域暨杭州昂坤试产后第一台设备顺利发货。该设备主要用于12寸晶圆形貌检测,主要测量无图形晶圆的厚度分布,平整度,面型,翘曲,微观亚纳米形貌,应用于HVM晶圆制造、大规模集成电路芯片生产中各种前端工艺节点的量测,提高晶圆和芯片生产的良率,能满足大于 3 纳米集成电路生产工艺节点需求。