MOCVD在线监测系统

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MOCVD在线监测系统

Viper-RTC MOCVD在线监测系统,用于MOCVD工艺反射率(R),温度(T)和翘曲度(C)的实时监测。温度信号,用于闭环温度控制

  • 测温范围宽,450度-1450度

  • 测量精度, ±1度

  • 适应性好,适合各种转速,各种观察窗的设备

  • 多通道,4个温度反射率测量通道,2个曲率测量通道

  • 一致性高,各测温通道测量差异小于0.5度

  • 5点曲率测量,可3D图像显示wafer翘曲形态

  • 高精度校准单元,实现不开腔校准

  • 校准单元重复性达到0.1度