MOCVD在线监测系统 viperRTC-HS
Viper-RTC MOCVD在线监测系统,用于MOCVD工艺反射率(R),温度(T)和翘曲度(C)的实时监测。温度信号,用于闭环温度控制
l 测温范围宽,450度-1450度
l 测量精度, ±1度
l 适应性好,适合各种转速,各种观察窗的设备
l 多通道,4个温度反射率测量通道,2个曲率测量通道
l 一致性高,各测温通道测量差异小于0.5度
l 5点曲率测量,可3D图像显示wafer翘曲形态
l 高精度校准单元,实现不开腔校准
l 校准单元重复性达到0.1度