• MOCVD在线监测系统
  • LED照明和显示领域检测设备
  • 化合物半导体衬底和外延检测设备
  • 集成电路检测设备

       MOCVD在线监测系统系列产品用于实时监测工艺过程中晶圆的温度,反射率和翘曲度,并提供可靠的温度信号用于控温,适用于各种转速的MOCVD机台。包括温度反射率翘曲度在线监测(viperRTC)、表面温度测量(viper405)、温度校准单元(Calibration Unit)、温场扫描系统(Scanpyro)等产品。

  • MOCVD 在线监测系统系列产品

    MOCVD在线监测系统系列产品用于实时监测工艺过程中晶圆的温度,反射率和翘曲度,并提供可靠的温度信号用于控温,适用于各种转速的MOCVD机台。包括温度反射率翘曲度在线监测(viperRTC)、表面温度测量(viper405)、温度校准单元(Calibration Unit)、温场扫描系统(Scanpyro)等产品

    528 ¥ 0.00
  • 近紫外测温系统viper405

    405nm近紫外测温系统,用于MOCVD工艺薄膜表面温度的测量

    153 ¥ 0.00
  • MOCVD在线扫描系统 Scanpyro-RT

    Scanpyro-RT MOCVD在线扫描系统,用于具有狭缝型观察窗的MOCVD设备,实现对整个盘面的温度和反射率扫描,获得实时的,整个温度场的数据。

    149 ¥ 0.00
  • MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS

    viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在线监测系统,用于慢转速,多片行星式MOCVD设备,实现对工艺反射率(R),温度(T)和翘曲度(C)的实时监测。测温信号,可用于闭环温度控制。

    155 ¥ 0.00
  • 高精度温度校准单元 Cal-2

    Cal-2 可以用于MOCVD设备不开腔温度校准。

    270 ¥ 0.00