镭刻码分选机OCR300

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镭刻码分选机OCR300


镭刻码分选机是专门用于读取晶圆镭刻码的设备,具有快速高效的特点,可以定义根据镭刻码规则进行灵活分选。

主要技术指标:

  • 镭刻码识别率≥ 99.9%

  • 支持4”和6”晶圆检测

  • 具备20个Cassette Station

  • 使用Robot传输机构

  • 挤压式寻边装置

  • 镭刻码分挡功能

  • 产能 ≥ 300片/小时

OCR600 (throughput>600WPH) available after June 2018