镭刻码分选设备 OCR400
镭刻码分选设备是专门用于读取晶圆镭刻码的设备,具有快速高效的特点,可以定义根据镭刻码规则进行灵活分选。
主要技术指标:
适用于蓝宝石平片、PR、PSS和EPI等
兼容4”和6”晶圆
镭刻码OCR识别率≥ 99.9%
具备20个分规料盒(Cassette)
使用Robot传输机构
挤压式Aligner装置
镭刻码分挡功能
OCR400产能 ~ 400片/小时(4inch )
支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口
镭刻码分选设备是专门用于读取晶圆镭刻码的设备,具有快速高效的特点,可以定义根据镭刻码规则进行灵活分选。
主要技术指标:
适用于蓝宝石平片、PR、PSS和EPI等
兼容4”和6”晶圆
镭刻码OCR识别率≥ 99.9%
具备20个分规料盒(Cassette)
使用Robot传输机构
挤压式Aligner装置
镭刻码分挡功能
OCR400产能 ~ 400片/小时(4inch )
支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口