F300-EPI GaAs
GaAs外延片AOI设备采用了自研光学镜头，并且集成了自动聚焦功能，可以对翘曲的外延片直接扫描清晰成像；集成了多种光学检测系统可以对掉点、水点等微观及暗线、红斑、翘脚等多种宏观缺陷进行检测与识别。
l 适用于GaAs EPI外延片
l 具备AOI、OCR等功能
l 兼容4 inch和6 inch晶圆
l 自研光学镜头: FOV ~15.6mm
l 缺陷检测空间分辨率：1.3μm x 1.3μm
l Review复查分辨率： 0.19μm x 0.19μm
l 缺陷检出率 ≥ 98%
l 缺陷误检率 ≤ 2%
l 缺陷重复性 > 95%
l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%（选配）
l 4 inch缺陷产能 ≥ 100片/小时
l 6 inch缺陷产能 ≥ 70片/小时
l 具备12个分规料盒（Cassette）
l 具备非接触Aligner功能
l 具备自动聚焦功能，可以适应翘曲wafer
l 深度学习识别缺陷类别（准确率>98%）：掉点，水点，划伤，暗线，翘脚，红斑，白斑，雾状等缺陷
l 支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口
