LED照明 缺陷检测设备

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Falcon300-DPW

 本设备主要用于蓝宝石,GaN,GaAs, SiC, 钽酸锂等平片的缺陷检测,可以检测并区分颗粒(particle)、刮伤(scratch)、小坑(pit)、凸起(bump)和脏污等缺陷,可以根据客户需求提供各种规格,最小检测尺寸可以到0.3μm; 具有高产能可以实现全检测。


  • 具备AOI 、OCR等功能;兼容4 inch和6 inch晶圆

  • 自研光学镜头: FOV 15.6mm

  • 最小缺陷检测能力:0.3μm

  • 缺陷检出率 ≥ 98% 

  • 缺陷重复性 > 95%

  • 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%(选配)

  • 4 inch产能 ≥ 100片/小时

  • 6 inch产能 ≥ 60片/小时

  • 具备12个分规料盒(Cassette)

  • 具备非接触Aligner功能

  • 具备晶圆分级功能

  • 具备输出检测报表和缺陷分布图功能

  • 具备缺陷分类功能,可识别缺陷类别

  • 支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口