MOCVD在线扫描系统 Scanpyro-RT

Scanpyro-RT MOCVD在线扫描系统,用于具有狭缝型观察窗的MOCVD设备,实现对整个盘面的温度和反射率扫描,获得实时的,整个温度场的数据。

l 适应于狭缝型viewport 

l 测温波长: 940nm 

l 测量反射率波长: 940nm, 405nm或定制 

l 扫描速率: 200-600ms/ Step

l 扫描步长: 径向1mm/Step 

l 扫描范围: 280mm, 配备斜置测温探头,可扫描整个石墨盘

l 扫描时间: 全盘扫描60-120s 

l 2D图形化显示全盘温度场分布 

l 丰富的数据分析功能