MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS

viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在线监测系统,用于慢转速,多片行星式MOCVD设备,实现对工艺反射率(R),温度(T)和翘曲度(C)的实时监测。测温信号,可用于闭环温度控制。


l 适用于Aixtron Gx  每小盘多片行星式MOCVD系统 

l 测温波长:940nm ü测量反射率波长:940nm, 633nm 或定制

l 测量曲率波长:405nm激光

l 曲率测量传感器:PSD

l 测温范围宽:450度~1450度 

l 测量准确度:±1度,重复性精度 <0.5度 

l 一个温度反射率测量通道,1个曲率测量通道(可配置多通道) 

l 单点RTC探头,同时测量温度,反射率和曲率

l 独有算法,可实现行星式多片wafer的曲率测量