Falcon1000-4000系列 缺陷检测设备

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Falcon1000-4000系列 缺陷检测设备

Falcon1000-4000系列产品是昂坤面向集成电路研发的缺陷检测设备,带有昂坤自主设计研发的从可见光到深紫外波段的明场及暗场光学检测系统和缺陷识别算法,可实现从亚微米到几十纳米级别的缺陷检测及分类。

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