E1000 化合物半导体缺陷检测设备

Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石,砷化镓,钽酸锂,石英玻璃,磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)等缺陷,最小可检测缺陷81nm;支持4"、6"、8"晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。


适应晶圆尺寸Wafer Size

l Size: 4", 6", 8" compatible; 标配4 cassettes; other size upon request

l Thickness: 350um~1500um(其它厚度需要测试)

缺陷类别及检测能力Defect Inspection Capability

Defects

Materials

颗粒particle

Si, GaAs, InP

Sapphire, Glass, LiTaO3

PSS

凹坑pit

Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3

凸起bump

Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3

划伤scratch

Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3

污点stain

Si, Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3

裂纹Cracks

Si



E1000(BF)检测视图