Eagle1000-4000系列 缺陷检测设备

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Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备

Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石,砷化镓,钽酸锂,石英玻璃,磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)等缺陷;支持4"、6"、8"晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。