高精度温度校准单元 Cal-2

 Cal-2 可以用于MOCVD设备不开腔温度校准。

主要技术指标

l 系统由Cal-2集成探头,BNC信号线,24位高精度DAQ单元,USB线连接Laptop构成

l 集成探头则由探测光路,接收PD, 信号放大电路,温度漂移抑制电路,环境温度监测显示电路,锂聚合物电池,充电电路构成 ü探测口径仅4mm,可应用于各种尺寸Viewport 

l 测温范围可定制。量产两种500~1200 °C,650~1750°C

l 稳定性:< 0.05℃

l 重复性:<0.1 °C 

l 体积小:150 x 40 x40mm