蓝宝石外观检测仪

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蓝宝石外观检测仪 (手动和全自动型)

蓝宝石外观检测仪是一款手动上下片、人工察看晶圆划痕的辅助检测设备,该设备采用4K工业相机,搭配专业显示器,长时间工作不会疲劳。

主要技术指标:

  • 放大倍率0.5x

  • 彩色相机,图像输出4K分辨率(3840*2160),Pixel size:1.85um

  • 帧速率:4K@30FPS/1080P@60FPS

  • 接口类型:HDMI接口

  • 显示器27.9”,响应时间:1ms,10bit颜色输出

  • 适应4” 6”Wafer

  • 遥控器功能:遥控器可实现BMP图像采集、回放、冻结、镜像、翻转、两组十字线、自动白平衡、自动曝光、色温切换、分辨率切换等功能

  • 测量缺陷类型:浅的抛光不完整、深的抛光不完整、浅的小坑、深的小坑、浅的刮伤、深的刮伤、刮伤的脏污、手指印等缺陷

Fully automated version available after June 2018