PSS AOI检测设备

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PSS AOI检测设备

AOI外观检测机采用自研光学镜头、高性能工业相机和高精度STAGE平台,具备业界领先的检测性能,用于4〃或6〃PR片、PSS片和蓝宝石抛光片的缺陷检测和反射率测量,具有镭刻码识别、缺陷检测及分类、反射率测量及分类、缺陷显微复查、晶圆分档、光刻胶厚度测量等功能;复合功能可以减少人力、设备场地、搬运次数以及总成本。

主要技术指标:

  • 适用于平片,PR, PSS及Epi外延片

  • OCR,AOI,反射率,PR厚度及缺陷review功能

  • 带有自动聚焦系统 – 可以检测翘曲wafer

  • 自研光学镜头: NA ~ 0.3,FOV ~18mm

  • 最小缺陷检测能力:1.3μm x 1.3μm

  • 缺陷检出率 ≥ 98% 2微米及以上缺陷

  • 缺陷误检率 ≤ 1%

  • 缺陷重复性 > 95%

  • 镭刻码识别率 ≥ 99.9%

  • 缺陷和反射率同时检测产能 ≥ 130片/小时(4 inch)

  • 可识别缺陷类别:MicroDefect、MacroDefect、Scratch、SpinPR、LocalDefocus、EdgeDefocus、Shotline、Degumming等。