蓝宝石厚度分选机 TTV300

产品>  

蓝宝石厚度分选机 TTV300

蓝宝石厚度分选机是一款专门测量晶圆THK、TTV、BOW和WRAP等外参数并且进行分选的设备。

 主要技术指标:

  • 测厚精度和重复性0.5μ

  • 测量范围:0.2~2mm

  • 支持4”和6”晶圆检测

  • 支持20个Cassette Station

  • Robot传输机构

  • 厚度分挡功能

  • 5点测量产能≥300片/小时

TTV600 (throughput >600 WPH) available after July 2018