集成电路芯片 缺陷检测设备

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COW/COT

COW/COT AOI用于GaN, GaAs, InP chip等芯片外观检测。支持4"、6"、8"、12"晶圆或者COT样品检测。常规检测:电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异常,最小检测缺陷尺寸达到0.5μm。支持用户定义或协商定制缺陷类别。