COW/COT AOI芯片缺陷检测设备

COW/COT AOI用于GaN, GaAs, InP chip等芯片外观检测。支持4"、6"、8"、12"晶圆或者COT样品检测。常规检测:电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异常,最小检测缺陷尺寸达到0.5μm。支持用户定义或协商定制缺陷类别。

Tool Configuration

l Wafer size:4"/6"or4"/6"/8" or 8"/12" compatible; other size upon requests

l COW(chip on wafer), COT(chip on tape) or COTD (双面检测) available

l Optics: 1X, 3X, 5X, 10X and 20X combinations based on inspection requirement; 50X or 100X used as review

检测缺陷类别Defect types

l 缺陷尺寸:0.5um or above

l 常规检测:电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异常

l 深度学习系统与神经网络算法,可以对缺陷类别进行精准分类

l 支持用户定义或协商定制缺陷类别,但增加缺陷类别可能会影响产能

产能Throughput (WPH) @3X optics

3xCOW4"@30mil4"@8mil6"@8mil6"@4mil

3xCOT4"@8mil4"@4mil

3xCOTD4"@8mil4"@4mil6"@8mil6"@4mil

软件功能Software Functions

l Function Blocks:晶圆搬运控制、状态指示、安全互锁、数据采集、测量结果数据处理、Recipe编辑与管理、缺陷复查(Review)图形化界面、设备状况记录log

l 用户权限:工艺工程师、设备工程师,操作员

l Grading function:可按照用户需求,定义产品Bin值

l Defect definition:可由用户自行进行检测参数,卡控标准的设定