昂坤视觉(北京)科技有限公司及全资子公司南昌昂坤半导体设备有限公司,是由资深海归专家创建的高科技企业。公司致力于为化合物半导体,光电和集成电路产业提供光学测量和光学检测设备及解决方案,具备光业界领先的学系统设计、光学成像技术和机器视觉、机器视觉算法研发能力。

公司在销售的产品涵盖了化合物半导体生产工艺测量和检测的各个环节:各种衬底厚度和形貌测量设备、各种衬底的颗粒检测设备(DPW AOI最小缺陷尺寸0.3μm或0.1μm);蓝宝石PSS AOI检测及反射率测量集成设备;各种外延片AOI检测设备;芯片外观AOI设备;MOCVD在线监测系统等。

MOCVD在线监测设备性能上遥遥领先,适应于高转速或者行星式MOCVD系统,约占据国产MOCVD100%市场。

PSS AOI检测设备采用了公司自主设计的光学镜头和系统,并且集成了反射率和光刻胶厚度的测量功能,不论从产能还是检测性能都在市场上名列前茅。

EPI AOI 检测设备采用了公司自主设计的光学镜头和系统,配备了自动聚焦功能,可以实现对于翘曲片缺陷的精准检测;带有深度学习系统可以识别缺陷类别准确率达到99%以上。

芯片AOI检测设备带有先进的光学检测系统和深度学习算法,可以达到人眼在显微镜头挑选的识别准确率。

Eagle系列高端化合物半导体缺陷检测设备,采用自主研发的高分辨率双远心镜头、微分相干及激光暗场等多种光学先进手段,可用于蓝宝石,氮化镓,砷化镓,磷化銦,石英玻璃,碳化硅等衬底和外延的表面和荧光缺陷检测,为国产化合物半导体产业的自主发展,提供坚实技术支撑。

Falcon1000-4000系列产品是昂坤面向集成电路研发的缺陷检测设备,带有昂坤自主设计研发的从可见光到深紫外波段的明场及暗场光学检测系统和缺陷识别算法,可实现从亚微米到几十纳米级别的缺陷检测及分类。

以上AOI产品占据了国内从2019年以来的大部分新增市场。


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